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测热式相关论文

微型热式液体流量传感器的设计

设计了新型的微型热式液体流量传感器.它将测热式工作原理和热膜式工作原理结合起来,在精确测量小流量的同时,兼具较大的动态测量......

期刊

微型液体流量传感器热膜式测热式 micro liquid flow sensor hot-film calorimetric

测热式和风速计一体化传感器的研究

微型机电系统技术在经过二十多年的研究后，逐步开始应用于传统工业领域。其中开发可应用于常规工业领域的微型传感器成为该领域的研......

学位

MEMS 微型传感器流量传感器测热式风速计实心结构玻璃衬底 CMOS兼容

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