液体微滴喷射靶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

液体微滴喷射靶相关论文

CO2,O2,CF4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱

基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻（EUVL）应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。该光源由......

期刊

液体微滴喷射靶激光等离子体光源极紫外投影光刻 Liquid aerosol spray target Laser-produced plasma（LPP）

液体微滴喷射靶激光等离子体软X射线源研究

液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）光源是一种具有较高的软X射线转换效率且能够长期连续运行的低碎屑光源。在极紫外投影光刻及辐射计......

学位

软X射线激光等离子体低碎屑液体微滴喷射靶反射率计

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