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等离子体油射石英晶体表面成膜实现液体黏度测量的研究
提出了用微波电子回旋共振等离子体溅射法(ECR)在石英晶体表面制备出性能优异的TiN薄膜,研究了TiN薄膜的性能以及作为液体黏度检测时......
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ECR等离子体
石英晶体
频率偏离
液体黏度测量
ECR Plasma SputteringQuartz CrystalFrequency Deviation
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