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液动压悬浮相关论文
液动压悬浮抛光机床的设计与研究
为了解决纳米薄膜生长所需的原子级超光滑表面制备问题,基于液动压悬浮抛光新方法开展液动压悬浮抛光机床的设计研究。利用铝基盘......
期刊
超光滑表面
液动压悬浮
抛光盘
非接触式
ultra-smooth surface
hydrodynamic suspension polishing
po
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