液态源磷扩散相关硕士博士期刊学术论文

液态源磷扩散相关论文

在化学反应扩散制备ｐ／ｎ结的过程中，伴随生成的ＳｉＯ２薄膜的厚度与扩散进入硅中的掺杂量有确定的关系（Ｑ’ｓｉ＝ｃｄ），由此可由氧化层厚度简便地估算扩散掺杂......

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