液滴锡靶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

液滴锡靶相关论文

极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势

随着芯片特征尺寸的不断减小，借助193 nm准分子光源的浸没式深紫外光刻技术已进入瓶颈，使用多次曝光技术的工艺路线也已到达目前的商......

期刊

光学设计极紫外光源激光等离子体液滴锡靶转换效率光源碎屑

液滴锡靶激光等离子体碎屑和极紫外辐射特性研究

近年来，随着电子产品爆发式的增长，半导体产业不断追求缩小芯片刻蚀的特征尺寸以提升产品的性能，芯片生产所采用的光刻技术正面临着巨......

学位

激光等离子体液滴锡靶极紫外光源离子碎屑辐射特性芯片刻蚀极紫外光刻

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