DEM技术是由上海交通大学开发出来的一种全新的三维微细加工技术.本文旨在研究DEM技术中利用反应离子刻蚀(RIE)深层刻蚀塑料PMMA的......

ＤＥＭ技术（Ｄｅｅｐｅｔｃｈｉｎｇ，Ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ，Ｍｉｃｒｏｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ）是继硅加工技术和ＬＩＧＡ技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工新技术，该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的工艺优点与ＬＩＧＡ技术相比，它具......

首次提出用ＤＥＭ技术进行非硅材料三维微机械加工，该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，解决了ＬＩＧＡ技术的光源问题。目前利用该技术已了微......