柔性硬质纳米涂层具有高致密性、高表面完整性、高硬度、高韧性和高裂纹抵抗力特性,是新一代高性能纳米涂层的一个重要发展方向,但......

深振荡磁控溅射是一种最新型的高功率脉冲磁控溅射技术,微脉冲的控制是深振荡磁控溅射的技术核心之一。本文采用深振荡磁控溅射技......

深振荡磁控溅射(Deep Oscillation Magnetron Sputtering, DOMS)是一种新型的高功率脉冲磁控溅射技术。DOMS产生多组调制电压振荡......