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温度电导率传感器相关论文

海洋温度电导率微纳传感器批量制备及测试

基于微机电系统(MEMS)技术,批量制备了一批高精度、小尺寸的电导率和温度集成微纳传感器,经测试,该传感器芯片尺寸仅为12 mm×12 m......

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温度电导率传感器海洋环境参数微纳批量制备高精度测量 conductivity and temperature(CT)micro-/nano-sensorm

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