溅射坑相关硕士博士期刊学术论文

组分元素和杂质在多层薄膜样品中深度分布的ＳＩＭＳ剖析结果总是偏离其真实的分布情况，这是由一次离子溅射样品时的物理过程以及溅射坑底的......