溅射气体相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

溅射气体相关论文

高功率脉冲磁控溅射制备类金刚石碳膜及性能研究

类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层是一种集高硬度、高耐磨性、高导热率、良好的生物相容性和低摩擦系数等优良特性于一体的......

学位

高功率脉冲磁控溅射溅射气体类金刚石涂层类石墨颗粒摩擦

基体偏压和反应气体分压强对溅射导电膜电阻率的影响

本文就基体偏压和反应气体分压强对溅射导电膜电阻率的影响作了理论分析，得到了理论公式及变化曲线，给出了用三极溅射制得的氧化铟......

期刊

溅射偏压溅射气体反应气体分压强导电膜电阻率基体氧分压强透明导电膜

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