溅射深度相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

溅射深度相关论文

调整磁场提高靶材利用率

本文介绍了磁场在磁控溅射工艺中的作用，根据美国Airco公司镀膜生产线使用、维护、研究经验，详细地论述了如何通过调整靶材磁场，提高......

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磁场靶材利用率磁控溅射工艺玻璃工业溅射深度

Mo-Re合金薄膜的辐照效应研究

使用离子注入技术,将200 keV氤离子注入到Mo-Re合金薄膜中,实现对薄膜的表面选区辐照改性.该薄膜的合金成分用X射线荧光光谱(XRF)......

期刊

Mo-Re合金 Re效应辐照损伤溅射深度

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