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溅射靶材材料相关论文
固溶及退火处理对Al-1.0%Si合金再结晶行为的研究
溅射靶材主要用于集成电路的布线。近年来,随着微电子等高科技产业的发展,溅射靶材的应用越来越广泛。Al-1%Si合金作为一种重要溅射......
学位
Al-Si合金
溅射靶材材料
固溶处理
退火处理
晶粒尺寸
再结晶行为
微观组织
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