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单晶硅—纳米晶立方氮化硼薄膜类P—N结及其制作方法
...
期刊
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吉林大学
单晶硅-纳米晶立方氮化硼薄膜
P-N结
制作方法
衬底加温
加负偏压
六角氮化硼
源加射频功率
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