激光干涉比长仪相关论文
激光干涉比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器,可将几何量值直接溯源到国际推荐的激光波长。为减小测量误差,满足测......
本文提出一种改进型的单狭缝刻线瞄准方法,通过计算刻线信号重心坐标平均值,确定刻线中心位置,实验结果表明因刻线信号形状不规则......
分析了使用激光干涉比长仪校准坐标机示值时存在的误差源 ,并就轴向长度示值校准时误差位置的寻找及粗大误差的排除 ,提出了自己的......
高等别线纹尺广泛用于精密加工及精密测量设备的定位、标定及校准等。为满足长三角地区高端装备制造业对高等别线纹尺的量值溯源需......
介绍一种在激光干涉仪上对线纹尺进行高精度瞄准的新方法－－单狭缝多点采集系统，详细描述了其设计方案和工作原理，并介绍了确定刻线定中......
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光栅尺作为位移传感器,已广泛应用于精密测量仪器中,随着对测量精度要求的不断提高,对光栅尺的质量也提出了更高的要求。光栅的刻......
