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激光干涉球径仪相关论文
一种新型激光干涉球径仪原理与分析
本文根据自参考剪切干涉技术,采用球面补偿自准直原理,提出了一种新型激光干涉球径义。详细介绍了该球径仪的测量原理,结构及误差分析......
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