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激光高反射薄膜相关论文

氧化物激光薄膜的离子束溅射制备技术

研究了由Ta2O5和SiO2组成的多层氧化物激光薄膜的双离子束溅射制备工艺.简要介绍了离子束溅射技术的基本工作原理和应用,着重分析......

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离子束溅射厚度均匀性激光高反射薄膜增透膜 Ion-beams sputteringUniformity of layer thicknessHigh la

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