热丝增强等离子体磁控溅射相关论文
采用热丝增强等离子体磁控溅射技术在SKD61钢基体上制备了CrNx薄膜,并分析研究了不同氮气流量对薄膜相结构、组织形貌、粗糙度、厚......
期刊