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热和结构变形相关论文
22nm极紫外光刻物镜热和结构变形及其对成像性能影响
极紫外光刻技术(EUVL)是半导体制造实现22nrll及其以下节点的下一代光刻技术。在曝光过程中,EUVL物镜的每一面反射镜吸收35%~40%的入射极......
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