热容式质量流量计相关论文
介绍 工气体微流量标准装置及其性能,讨论了温度变化,气体吸附和系统汛放等干扰效应,分析了标准装置的不确定度。该标准的校准范围为......
定容式气体微流量标准装置采用定容法工作原理,用于校准热容式质量流量计,测量范围为1×10^-3~10Pa·m^3·s^-1,不确定度(1σ)小于1.20%。主要分析了......