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热导率测试结构相关论文
考虑工艺偏差的MEMS器件设计研究
随着MEMS(Micro Electro-Mechanical System),即微电子机械系统的技术发展与商用化的进程,其制造中的良品率问题日益严峻,可制造性......
学位
MEMS
工艺偏差
不确定性量化
随机配点法
热导率测试结构
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