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该文根据热传导原理分析了横向驱动多晶硅热执行器阵列的温度分布;根据结构力学建立了热执行器阵列的宏模型;计算了执行器阵列的偏转......
建立了多晶硅热执行器阵列的宏模型,利用热传导原理分析了执行器的电热特性,根据结构力学原理给出了执行器阵列的传转及驱动力,用多晶......