热挠曲相关论文
该文系统深入地研究了硅微机械谐振器件在光热激励下的理论及其技术,建立了较完善的理论分析体系,弥补了光热激励硅微机械谐器理论......
本文对微机械中热胀系数不同的材料构成的双层复合薄板在均匀温升下的挠曲特性进行了研究 ,提出了在均匀温升下双层薄板热挠曲求解......
分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时通过......
本文分析了镀膜双层微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计 .同时在充分......
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