热氧化退火相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

热氧化退火相关论文

类电磁诱导透明效应在硅基微环谐振腔中的实现与优化

为在硅基光波导上实现类电磁诱导透明效应，设计并加工了基于绝缘体上硅的串联双环结构．通过300℃到1200℃热氧化退火、缓冲刻蚀液湿......

期刊

集成光学硅基光波导热氧化退火垂直光栅耦合类电磁诱导透明微环谐振腔绝缘体上硅 Integrated optics Optical waveguides

看过本文同时还关注