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热灯丝化学气相合成相关论文
CVD金刚石薄膜的制备及其特性和器件化研究
本论文介绍了金刚石薄膜的热灯丝化学气相合成(HFCVD)及其性质和器件化应用研究。 CVD金刚石薄膜是上世纪八十年代兴起的材料研......
学位
热灯丝化学气相合成
金刚石薄膜
原位测量
X光窗口
纳米晶/微晶金刚石多层膜
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