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本文报导了应用塞贝克效应的CH—1型硅集成热电堆红外传感器的研究结果。该器件采用集成电路工艺技术及硅的微细加工技术研制而成......
传感器是一种能按一定规律将感受到的非电量信号变换成电信号或其他形式信号的检测器件。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。......