研究了H+注入对SRBI2TA2O9(SBT)铁电薄膜的晶体结构和电学性质的影响,并与含氢气氛退火作了比较,进而研究了O+注入对SBT铁电薄膜电......

研究了Ｈ＾＋注入对ＳｒＢｉ２Ｔａ２Ｏ９（ＳＢＴ）铁电薄膜的晶体结构和电学性质的影响，并与含氢气氛退火作了比较，进而研究了Ｏ＾＋注入对ＳＢＴ铁电薄膜电学性质的影响。发现室温Ｏ＾＋注......