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大数值孔径光刻照明光瞳偏振参数检测技术研究
光刻机是集成电路制造的核心设备,光刻分辨率决定了集成电路芯片的特征尺寸。通过增大光刻机投影物镜的数值孔径可提高光刻分辨率。......
学位
光刻
偏振光照明
偏振光检测
照明光瞳
集成电路
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