独立反应方程相关论文
用MOCVD生长GaN的过程中,由于NH3与TMG化学性质的巨大差异,以及通常1000℃以上的生长温度,使得其中反应过程比较复杂,且多种反应并存。文章首先对这样一个......
用MOCVD生长GaN的过程中,由于NH3与TMG化学性质的巨大差异,以及通常1000℃以上的生长温度,使得其中反应过程比较复杂,且多种反应并存文章首先这样一个多元......