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本文重点讨论了用不同的工艺方法来制备薄膜磁头中的关键零件－－磁轭。采用多次光刻的方法克服湿法工艺中磁性膜ＮｉＦｅ层的侧向钻蚀问题，从而......
本文重点讨论了用不同的工艺方法来制备薄膜磁头中的关键元件-磁轭。采用多次光刻的方法克服湿法工艺中磁性膜NiFe层的侧向钻蚀问......
