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电化学脉冲腐蚀法相关论文
电化学脉冲腐蚀法制备窄峰发射的多孔硅微腔
用电化学脉冲腐蚀方法制备了多孔硅微腔,讨论了脉冲电化学腐蚀的参数--周期、占空比对多孔硅多层膜制备的影响,并用了以HF酸扩散为基......
期刊
多孔硅
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窄峰发射
电化学脉冲腐蚀法
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photoluminescence
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