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电子回旋共振等离子体(ECR)相关论文
大尺寸单晶金刚石薄膜的外延生长
用电子回旋共振等离子体增强的化学汽相沉积法, 在单晶硅衬底上外延生长出了近于100μm2的单晶金刚石薄膜.使用的原料气体是高纯的......
期刊
金刚石薄膜
化学汽相沉积法(CVD)
电子回旋共振等离子体(ECR)
外延生长
β-SiC
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