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本文分析了各种静电聚焦——偏转器系统,特别研究了静电MOL系统的电子光学性能.提出了一种实用的MOL系统结构,该系统中部份电极做......
利用多靶磁控溅射技术在SiO_2/Si基体上沉积Cu/Cu(Ge,Zr)多层薄膜,采用四探针仪(FPPT),X射线衍射仪(XRD),高分辨透射电镜(HRTEM),X......
本文利用扫描电子束探针法,研究了渍制钪酸盐钡钨阴极在室温下的次级发射特性,观察了激活程度对该阴极的次级发射特性、次级发射图......
一种新的诊断工具有可能使亚微米VLSI器件样品的调试时间减少数周,这就是美国SentrySchlumberger公司的集成诊断系统IDS 5000。该......
近代物理研究所承担的十二五大科学装置项目强流重离子加速器装置(HIAF)将建造新一代高流强、高能量、高束团功率的重离子加速器,......
本文用电子束探针测试技术对IC单元电路进行了设计验证,包括功能验证和延迟参数的验证。快速准确地完成了电路内部的故障定位,完成了输......