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电子束蒸发斜角气相沉积相关论文
纳米柱状阵列减反射薄膜的研究
光学薄膜在现代工业中非常重要,在光学器件、光电子器件、半导体器件中有着广泛的应用。减反射薄膜是光学薄膜中应用范围最广的薄膜......
学位
纳米柱状阵列薄膜
电子束蒸发斜角气相沉积
减反射性能
数值模拟
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