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电子枪物理气相沉积法相关论文
离子源辅助EB-PVD法制备高阻隔SiOx膜的研究
利用离子源辅助电子枪物理气相沉积方法(EB-PVD)制备高阻隔SiOx膜.研究了氩气流量、氧气流量以及电子枪功率等参数对SiOx膜水蒸气......
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高阻隔氧化硅膜包装材料
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