电子薄膜材料相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

电子薄膜材料相关论文

部分电子薄膜材料热力学和动力学研究

随着电子信息产业（集成电路产业、固体发光产业、激光器件产业和磁记录产业）的迅速发展，半导体和磁性薄膜科学和技术愈来愈受到重视，利......

学位

电子薄膜材料热力学动力学应力状态稳定性扩散系数

等离子体辅助电子束蒸发沉积AIN薄膜及等离子体密度诊断与研究

AlN于19世纪60年代被人们发现，可作为电子薄膜材料，并具有广泛的应用。目前，制备AlN薄膜主要方法是有化学气相沉积法，金属有机化合物化......

学位

电子薄膜材料等离子体电子束蒸发沉积等离子体密度诊断 ICP离子源低温沉积朗缪尔探针氮化铝

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