电容式绝对压力传感器相关论文
传感器作为电子电路与外面环境的接口部分,具有重要的作用.压力传感器是一种重要的传感器,在工业控制领域以及大气探测领域有着重......
在传感器敏感膜模型的基础上对电容式绝对压力传感器提出了一种改进模型,考虑了由于温度的变化电容结构空腔中残余气体对传感器性......
在MEMS表面加工工艺中,多晶硅薄膜是微结构的重要组成部分.本文考虑加工工艺中残余应力的影响和多晶硅材料的强度范围,建立多晶硅......