给出了薄膜气敏材料性能的测试结果：存在最佳灵敏度膜厚l *（ l *≈1500?）；动态特性；膜越薄响应越快；存在最佳掺杂（ CeO2）量x%，x的取值范围为......

本文通过总结分析金属氧化物电导气敏特性研究的历史和现状得出--对气敏元件进行技术改造已是国内外的迫切要求。而济南市半导体元......