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电感耦合(ICP)源辅助磁控溅射相关论文
电感耦合(ICP)源辅助磁控溅射等离子体制备Ag/SiOx纳米复合物
本文采用电感耦合(ICP)源辅助磁控溅射等离子体,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体、氩气为放电气体,沉积氧化硅;同时以纯度为99.99%......
会议
电感耦合(ICP)源辅助磁控溅射
Ag/SiOx纳米复合物
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