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电流斜坡法相关论文
电迁徙参数的电流斜坡动态测试
采用电流斜波法测试了4种不同金属化样品,其n值分别为2.29(Al-Si合金膜),1.25(Al-Si-Cu合金膜),1.28(Al-Si/Ti双层金属化),1.23(Al/TiWTi/Al多层金属化)结果表明,n值与材料有关,电迁徒阻力越高n值越小,与......
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