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掺B金刚石膜的电火花抛光实验研究
通过化学气沉积过程中掺B,制备的金刚石膜电阻率下降10-19,导致金刚石膜整体导电,可采用电火花抛光。用扫描电镜和Raman分析了金刚......
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金刚石膜
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