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硅微谐振式加速度计电路带宽测试方法研究
以自主研制的硅微谐振式加速度计(MSRA)为研究对象,针对其驱动电路的带宽测试,设计一种基于锁相环解调电路的带宽测试方案。针对锁......
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硅微谐振式加速度计
电路带宽
激励信号
锁相环
解调
micro-machined silicon resonant accelerometer(MSRA)ci
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