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软X-射线滤光片支撑镍网的设计及制作工艺研究
介绍了软x-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺,以金属镍为结构材料,采用了微机电系统(MEMS)技术中的电镀工艺及剥离工艺,讨论了......
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X-射线光学
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