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电阻加热式真空镀膜相关论文
基于Smith变论域模糊自适应PID蒸发源温度控制
在电阻加热式真空蒸发镀膜过程中,需要通过对蒸发源的温度进行控制从而实现蒸发速率的控制。针对真空镀膜系统中蒸发源的温度变化......
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电阻加热式真空镀膜
模型辨识
差分进化算法
变论域模糊自适应PID
分段控制
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