白光干涉术相关论文
针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中，存在测量时间长、信号利用率低等问题，本文提出了应用于白光扫描干涉测量......
设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的......
带侧键的硅氧烷高分子薄膜，在吸收有机分子时它的厚度会发生膨胀，其膨胀幅度与接触的有机物浓度成正比；采用白光干涉测厚的方法可测量......
提出了一种基于动态均值滤波、二次曲线法解调和拟合法求光程差的数据处理新方法.与传统的算法比较,动态均值滤波避免了耗时的快速......
带侧键的硅氧烷高分子薄膜，在吸收有机分子时它的厚度会发生膨胀，其膨胀幅度与接触的有机物浓度成正比；采用白光干涉测得的方法可测量......
在相移干涉中有时采用白光干涉来扩大深度测量范围，白光光源的使用，缩短了光束的相干长度，降低了测量精度。本文从干涉理论出发推导了......
实验研究了轴向色差测试技术用于动态损伤样品截面形貌测量的可行性,对材料动态损伤的损伤程度进行了高精度的表征与量化。首先,采......
用白光干涉检测（WLI）法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法.该方法分别沿......
