皮拉尼计相关论文
很多具有重要应用背景的MEMS器件加工时都需要进行真空封装。但真空封装工艺、真空保持性、内部真空度测试等关键问题一直未得到真......
微系统真空封装中真空度的保持性能在很大程度上决定了器件的最终性能、工作的可靠性及其寿命，而对封装体内真空度的测试，是真空封装......
随着MEMS技术的不断发展，MEMS惯性器件、RF器件等在通讯、交通、国防等各个领域发挥着越来越重要的作用。这些器件大都是需要在一个......
随着MEMS技术的发展,MEMS芯片的设计与制造技术已经逐步成熟,进入产业化的阶段。但是,MEMS封装技术的研究明显落后于MEMS芯片的研......
介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型MEMS皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度......
真空传感器是真空科学研究与真空测试技术中的重要器件。本文将传统的皮拉尼计与MEMS技术结合起来,研制了一款与标准CMOS工艺兼容......
微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)是将微机械元件、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路等集成于一体......
微机电系统(MEMS)皮拉尼(Pirani)真空压力计是一种基于微纳结构的热传导式真空压力测量装置,它通过皮拉尼效应和热电耦合原理能够......
