直接刻蚀相关论文
本文论述了微带天线的宽带化、微型化研究近况,介绍了多种新型宽带、微型化天线,涉及微机械、附加阻抗、馈电网络改进、附加寄生单......
在激光剥离机制的基础上，分析了激光直接刻蚀过程中，蒸气压及热传导对图形刻蚀质量的影响，并得出了刻蚀不同厚度Ａｌ的激光能量密度，脉冲频......
与传统的投影曝光微细加工方法相比，激光直写具有高柔性、低成本和胜任三维微型结构加工的优点。采用非稳腔的聚焦准分子激光（ＫｒＦ，λ＝２４８ｎｍ）对单......
同步辐射激发直接光化学刻蚀是近年来发展的一项新技术，它不需要常规光刻中的光刻胶工艺，用表面光化学反应直接将图形写到半导体材料......
目前专用工件采用发展比较成熟的一维条形码技术。在产品生产过程中,各工位操作人员使用扫码枪扫描标志代码,与单位信息化实现联接......
与传统的投影曝光微细加工方法相比 ,激光直写具有高柔性、低成本和胜任三维微型结构加工的优点。采用非稳腔的聚焦准分子激光 ( K......
准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景，用该技术制作的聚合物微结构深度比大、精度高，并且工艺简单。我们分析了准......
