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利用圆柱状弹性体的一阶纵振和二阶弯振模态设计出一种兰杰文式定子，用两个定子并联驱动一个精密直线平台，该平台的尺寸为250mm&#215......

期刊

双定子纵弯振模态驱动大推力直线平台 double stator bending mode and longitudinal mode drive

面向高速精密定位的宏微复合直线平台优化设计与运动规划

微电子制造是关系国家安全与经济发展的重要行业。目前,新一代的微电子制造装备正面临高加速、高速、高精密、大行程等诸多挑战性......

学位

高速精密定位宏微复合运动规划优化设计直线平台

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