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硅甲烷射频放电分解动力学的CARS光谱研究
应用相干反斯托克斯喇曼光谱(CARS)技术对硅甲烷(SiH4)的射频放电分解进行在位诊断.基于硅甲烷v1振动模CARS信号强度的变化,研究了......
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相干反斯托克斯-喇曼光谱(CARS)
化学气相淀积
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