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相移激光干涉相关论文

相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用

应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量，测量精度可达0．013″。与采用自准直仪、激光干涉小角度测......

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相移干涉 ZERNIKE多项式直线度测量小角度测量波面拟合相移激光干涉测量原理导轨 Phase shift interferometry Zerni

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